特長: | ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。 |
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用途: | 理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置。真空蒸着装置、凍結乾燥器。医療用機器全般。 |
仕様: | 排気速度(L/min)50/60Hz:10/12到達圧力(Pa):1.3吸気口径(mm):18電源(V):単相100全幅(mm):130全長(mm):228全高(mm):165使用油:SMR-100電源コード長さ(m):1.8一台から異電圧に別作対応 |
注意: | 油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。大気圧近くでの連続運転には不適当です。 |
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