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マスフローコントローラー 10SLM Air C1020-4S2-10L-Air

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マスフローコントローラー　10SLM　Air C1020-4S2-10L-Air その他特徴熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。仕様流量（SLM）：10ガス：Air流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35）再現性：±0.2％FS流量制御範囲：5～100％FS流体：気体使用可能温度：5～50　85%RH以下応答性：6sec動作圧力範囲：50～300kPa耐圧：1MPa（G）外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム表面処理：機械加工仕上げ継手：1/4in.SWL相当入出力：アナログ信号（0～5VDC）バルブ形式：N/O　ノーマルオープン駆動電源：+15VDC±5%　60mA、－15VDC±5%　150mA通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）サイズ：160×33.6×105mm

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