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エステックマスフローコントローラ SEC-E40MK3

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【画像はイメージです】【納期について】本商品の納期は都度確認が必要な製品となっております。長納期となる場合がございますので、ご注文前にお問い合わせください。お問合せがなく、発送に7営業日以上の納期がかかる場合は、別途ご相談のメールを送信させていただきます。マスフローコントローラ SEC-E40MK3の特長対応ガス種：非腐食性ガス(N2，O2，Air，H2，Ar，Heに対応)フルスケール流量(N2)：10SCCM～10SLM流量制御範囲：2～100％F.S.流量制度：±1％F.S.使用環境温度：5～50(精度保証15～35)応答性：1秒以内(T98)動作差圧：50～300kPa(10SCCM～5SLM)(d)，100～300kPa(10～30SLM)(d)外部リークレート：1×10-10Pa・m3/s(He)以下流量設定信号：0.1～5VDC/2～100％F.S.流量出力信号：0～5VDC(0～100%F.S.)駆動電源：+15VDC ±5％ 50mA，－15VDC ±5％ 150mA(3VA)接ガス部材質：SUS316，フッ素ゴム，PTFE，磁性ステンレス標準継手：1/4Swagelok，VCR※専用電源ユニット，接続ケーブル別売です※E40MK3は，ガス種限定モデル(N2，O2，Air，H2，Ar，Heに対応)です※注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を指定下さい

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