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単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-DG 1枚

単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-DG 1枚

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商品情報

マイクロパイプ数：15個/cm2以下（ダミーグレード）入数：1枚厚さ：330±25umオフ角度：（0001）面に対し4度OFF比抵抗：0.015～0.028Ω.cm4インチその他：1次オリフラ＆2次オリフラ有り、Si面CMP仕上げ、C面Polish仕上げ マイクロパイプ数：15個/cm2以下（ダミーグレード）入数：1枚厚さ：330±25umオフ角度：（0001）面に対し4度OFF比抵抗：0.015～0.028Ω.cm4インチその他：1次オリフラ＆2次オリフラ有り、Si面CMP仕上げ、C面Polish仕上げ

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